HoSiCa - Hochreiner Siliziumcarbid-Werkstoff für die Halbleiterfertigung Schlussbericht zum Vorhaben
Gespeichert in:
| Körperschaft: | |
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| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | ger |
| Veröffentlicht: |
Aachen
2002
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Tag hinzufügen | Beschreibung: | Förderkennzeichen BMBF 03N1052. - 03N1052A. - 03N1052AO Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden Auch als elektronische Ressource vorh |
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| Beschreibung: | 14 Bl Ill., graph. Darst |