Fabrication of a micro humidity sensor on a thin, flexible substrate

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Ng, Boon K. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Tung, Steve (VerfasserIn), Batzer, Stephen A. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Dearborn, Mich. Society of Manufacturing Engineers 2002
Schriftenreihe:	Technical paper / SME, Society of Manufacturing Engineers MS 02-184
Schlagworte:
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Beschreibung
Beschreibung:	Presented at the conference: NAMRC XXX, May 21 - 24, 2002, West Lafayette, Indiana
Beschreibung:	5 S