Thermally-enhanced edge registration for aligning metallic microlaminated devices

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Thomas, Joseph S. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Paul, Brian K. (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Dearborn, Mich. Society of Manufacturing Engineers 2002
Schriftenreihe:Technical paper / SME, Society of Manufacturing Engineers MS 02-182
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Beschreibung
Beschreibung:Presented at the conference: NAMRC XXX, May 21 - 24, 2002, West Lafayette, Indiana
Beschreibung:8 S