Radio frequency power in plasmas 15th Topical Conference on Radio Frequency Power in Plasmas, Moran, Wyoming, 19 - 21 May 2003

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaften: University of Wisconsin-Madison (BerichterstatterIn), Topical Conference on Radio Frequency Power in Plasmas (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Forest, Cary B. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Melville, NY American Inst. of Physics 2003
Schriftenreihe:AIP conference proceedings 694
Schlagworte:
Online Zugang:Abstracts
Publisher description
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Beschreibung
Beschreibung:Sponsoring organizations: University of Wisconsin; The American Physical Society
Beschreibung:XV, 520 S
Ill., graph. Darst
ISBN:0735401586
0-7354-0158-6