Galliumnitrid- Hochfrequenzelektronik, Teilvorhaben: Multiwafer GaN MOVPE für elektronische Bauelemente Verbundprojekt ; Schlußbericht zum Vorhaben

MOCVD, GaN, AIGaN, high-power electronics, HEMT, Planetary Reactor®

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Schineller, Bernd (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Heuken, Michael (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Aachen Aixtron AG 2003
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