Dual-Gate Nano-FETs auf SOI grundlegende Prozessschritte

Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2003

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Henschel, Wolfgang (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Aachen Shaker 2003
Schriftenreihe:	Berichte aus der Physik
Schlagworte:	Hochschulschrift > MOS-FET > SOI-Technik > Nanotechnologie > Elektronenstrahllithografie
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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