Dual-Gate Nano-FETs auf SOI : grundlegende Prozessschritte

Dual-Gate Nano-FETs auf SOI grundlegende Prozessschritte

Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2003

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Henschel, Wolfgang (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Aachen Shaker 2003
Schriftenreihe:Berichte aus der Physik
Schlagworte:
Hochschulschrift > MOS-FET > SOI-Technik > Nanotechnologie > Elektronenstrahllithografie
Online Zugang:Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Zusammenfassung:Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2003
Beschreibung:136 S
Ill., graph. Darst
21 cm, 207 gr.
ISBN:3832222405
3-8322-2240-5