Projekt MiScha - Fertigung und Anwendung mikrotechnischer schaltender Sensoren Abschlussbericht ; gefördert durch das Bundesministerium für Bildung und Forschung

Switch, micromachined, contacts, gold

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	Institut für Mikro- und Informationstechnik (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Hiltmann, Kai (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Villingen-Schwenningen u.a. 2002
Schlagworte:	Forschungsbericht
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