Studies of semitransparent optoelectronic position sensors (ALMY) for high precision alignment monotoring systems proceedings of the 1. IEEE sensors conference 2002, Orlando, Florida, June 12-14, 2002

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	Sensors Conference (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Bauer, F. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	München Max-Planck-Institut für Physik 2002
Schriftenreihe:	MPI-PhE 2002-05
Schlagworte:	Konferenzschrift
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