Special section: mechanical properties of MEMS structures [papers ... presented in the materials sessions at the ASME Symposium on the Mechanical Properties of MEMS Structures, which was held in New York, NY, in November of 2001]

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	Symposium on the Mechanical Properties of MEMS Structures (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Soboyejo, Wolé (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Boston u.a. Kluwer 2003
Schriftenreihe:	Journal of materials science 38.2003,20
Schlagworte:	Konferenzschrift
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