Nanometrische Positionsbestimmung mittels Interferenz-Holographie

Wuppertal, Univ., Diss., 2003

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Feige, Volker Klaus Sven (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: 2003
Schlagworte:
Hochschulschrift > Rastersondenmikroskop > Positionierung > Nanometerbereich > Lagemessung > Holographische Interferometrie
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

Keine Ergebnisse!