Nanometrische Positionsbestimmung mittels Interferenz-Holographie

Wuppertal, Univ., Diss., 2003

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Feige, Volker Klaus Sven (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: 2003
Schlagworte:
Hochschulschrift > Rastersondenmikroskop > Positionierung > Nanometerbereich > Lagemessung > Holographische Interferometrie
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Beschreibung
Zusammenfassung:Wuppertal, Univ., Diss., 2003
Beschreibung:127 S
Ill., graph. Darst
21 cm