Fundamental electron interactions with plasma processing gases

Fundamental electron interactions with plasma processing gases

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Christophoru, Lukas G. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Olthoff, James Kenneth (VerfasserIn), Olthoff, James K. (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: New York, NY u.a. Kluwer Acad./Plenum Publ. 2004
Schriftenreihe:Physics of atoms and molecules
Schlagworte:
Electron-molecule collisions > Plasma (Ionized gases) > Elektronenwechselwirkung > Elektron-Molekül-Stoß > Langsames Elektron
Online Zugang:Cover
Publisher description
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Beschreibung
Beschreibung:Includes bibliographical references and index
Beschreibung:XII, 776 S.
graph. Darst.
26 cm
ISBN:0306480379
0-306-48037-9