Proceedings from the Joint International Plasma Symposium of the 6th Asia-Pacific Conference on Plasma Science & Technology (6th APCPST), the 15th Symposium on Plasma Science for Materials (15th SPSM), & the 11th Korea Accelerator & Plasma Research Association Annual Conference (11th KAPRA), Jeju Island, Korea, 1 - 4 July, 2002

Bibliographische Detailangaben

Körperschaften:	Joint International Plasma Symposium (VerfasserIn), Korea Accelerator and Plasma Research Association (BerichterstatterIn), Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology (BerichterstatterIn), Symposium on Plasma Science for Materials (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Sakuta, Tadahiro (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Amsterdam u.a. Elsevier 2003
Schriftenreihe:	Thin solid films 435.2003,1/2
Schlagworte:	Konferenzschrift > Plasmaphysik
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