Growth, characterization, and electronic applications of Si-based thin films

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser:	Bergmann, Ralf B. (HerausgeberIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Trivandrum Research Signpost 2002
Schlagworte:	Silicon-carbide thin films > Silicium > Dünnschichttechnik > Kristallwachstum > Elektronische Eigenschaft > Elektronik > Anwendung
Online Zugang:	Table of contents
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