Growth, characterization, and electronic applications of Si-based thin films

Growth, characterization, and electronic applications of Si-based thin films

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Bergmann, Ralf B. (HerausgeberIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Trivandrum Research Signpost 2002
Schlagworte:
Silicon-carbide thin films > Silicium > Dünnschichttechnik > Kristallwachstum > Elektronische Eigenschaft > Elektronik > Anwendung
Online Zugang:Table of contents
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Beschreibung
Zusammenfassung:Contributed articles
Beschreibung:Includes bibliographical references
Beschreibung:227 S.
Ill., graph. Darst.
24 cm
ISBN:8177361082
81-7736-108-2