Microprocesses and nanotechnology [the 15th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2002) was held in the Tokyo Fashion Town, Tokyo, Japan from November 6 through 8, 2002]

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	International Microprocesses and Nanotechnology Conference (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Ochiai, Yukinori (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Tokyo Publ. Office, Japanese Journal of Applied Physics 2003
Schriftenreihe:	Japanese journal of applied physics Regular papers, brief communications & review papers 42.2003,6B = 578
Schlagworte:	Konferenzschrift > Nanotechnologie > Mikromechanik
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