Papers presented at ChiPPS - 2002 (challenges in predictive process simulation) 13 - 17 October 2002, Prague, Czech Republic

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	International Workshop on Challenges in Predictive Process Simulation (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Dabrowski, Jarek (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Oxford Pergamon 2003
Schriftenreihe:	Materials science in semiconductor processing 6.2003,1/3
Schlagworte:	Konferenzschrift
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