Papers from the 49th international symposium of AVS 3 - 8 November 2002, Colorado Convention Center, Denver, Colorado

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	American Vacuum Society (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Melville, NY American Institute of Physics 2003
Schriftenreihe:	Journal of vacuum science and technology / A 21.2003,4
Schlagworte:	Konferenzschrift
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Beschreibung
Beschreibung:	S. 831 - 1588 Ill., graph. Darst.