Process and materials characterization and diagnostics in IC manufacturing : 27 - 28 February 2003, Santa Clara, California, USA

Process and materials characterization and diagnostics in IC manufacturing 27 - 28 February 2003, Santa Clara, California, USA

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Tobin, Kenneth W. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Bellingham, Wash. SPIE 2003
Schriftenreihe:SPIE proceedings series 5041
Schlagworte:
Integrated circuits > Congresses > Semiconductors > Semiconductor wafers > Integrated circuits industry > Quality control > Konferenzschrift
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Beschreibung
Beschreibung:X, 222 S
ISBN:081944846X
0-8194-4846-X