19th European Conference on Mask Technology for Integrated Circuits and Microcomponents : 13 - 15 January 2003, Sonthofen, Germany

19th European Conference on Mask Technology for Integrated Circuits and Microcomponents 13 - 15 January 2003, Sonthofen, Germany

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaften: EMC (VerfasserIn), Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik (BerichterstatterIn), Institut für Mikrostrukturtechnik (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Behringer, Uwe F. W. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Bellingham, Wash. SPIE 2003
Schriftenreihe:SPIE proceedings series 5148
Schlagworte:
Integrated circuits > Congresses > Microlithography > Konferenzschrift
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Beschreibung
Beschreibung:LI, 264 S
ISBN:0819450189
0-8194-5018-9