Grundlagenuntersuchungen zur Laser-Plasma-CVD-Synthese von Diamant und amorphen Kohlenstoffen

Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 2002 (Nicht für den Austausch)

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Sebastian, Michael (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	München Utz Verl. Wissenschaft 2002
Schriftenreihe:	Laser in der Materialbearbeitung
Schlagworte:	Hochschulschrift > Kohlenstoff > Dünne Schicht > Amorpher Zustand > Laser-CVD-Verfahren > PECVD-Verfahren > Diamant
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

Beschreibung
Zusammenfassung:	Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 2002 (Nicht für den Austausch)
Beschreibung:	153 S Ill., graph. Darst 21 cm
ISBN:	383160200X 3-8316-0200-X