MEMS/MOEMS: advances on photonic communications, sensing, metrology, packaging and assembly 28 - 29 October 2002, Brugge, Belgium

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Behringer, Uwe F. W. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Bellingham, Wash. SPIE 2003
Schriftenreihe:SPIE proceedings series 4945
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Beschreibung
Beschreibung:VII, 203 S
ISBN:0819447404
0-8194-4740-4