MEMS/MOEMS: advances on photonic communications, sensing, metrology, packaging and assembly 28 - 29 October 2002, Brugge, Belgium
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | eng |
Veröffentlicht: |
Bellingham, Wash.
SPIE
2003
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Schriftenreihe: | SPIE proceedings series
4945 |
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Beschreibung: | VII, 203 S |
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ISBN: | 0819447404 0-8194-4740-4 |