MOEMS and miniaturized systems III : 27 - 29 January 2003, San Jose, California, USA

MOEMS and miniaturized systems III 27 - 29 January 2003, San Jose, California, USA

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Micromachining and Microfabrications Conference for MOEMS and Miniaturized Systems (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Smith, James H. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Bellingham, Wash. SPIE 2003
Schriftenreihe:SPIE proceedings series 4983
Schlagworte:
Microelectromechanical systems > Congresses > Miniature electronic equipment > Micromechanics > Optics, Adaptive > Optical scanners > Konferenzschrift > MEMS > Elektrooptisches Bauelement > Miniaturisierung
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