MOEMS and miniaturized systems III 27 - 29 January 2003, San Jose, California, USA

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Micromachining and Microfabrications Conference for MOEMS and Miniaturized Systems (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Smith, James H. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Bellingham, Wash. SPIE 2003
Schriftenreihe:SPIE proceedings series 4983
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Beschreibung
Beschreibung:XLVI, 368 S
ISBN:0819447838
0-8194-4783-8