Produktstandards und Fertigungsmittel für das Vereinzeln, Ordnen und Magazinieren von Mikrokörpern und Mikrosystemen (MICROFEED2), Teilvorhaben: Fertigung von Mikrospektrometern und Mikrozerstäubern : Schlußbericht zum Vorhaben ; Verbundprojekt

Produktstandards und Fertigungsmittel für das Vereinzeln, Ordnen und Magazinieren von Mikrokörpern und Mikrosystemen (MICROFEED2), Teilvorhaben: Fertigung von Mikrospektrometern und Mikrozerstäubern Schlußbericht zum Vorhaben ; Verbundprojekt

Micro system technology, MST, handling technology

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: STEAG MicroParts GmbH (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Dortmund ca. 2001
Schlagworte:
Forschungsbericht
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Beschreibung
Zusammenfassung:Micro system technology, MST, handling technology
Beschreibung:Förderkennzeichen BMBF 16 SV 845/1. - Verbund-Nr. 01011034
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Dokumentenversion können nicht ausgeschlossen werden
Auch als elektronische Ressource vorh
Beschreibung:4 Bl