Emerging backend technologies for the semiconductor industry - copper and low-k interconnects [held at] SEMICON Europa 2002, Munich, Germany, April 17, 2002

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaften:	Semiconductor Equipment and Materials International (BerichterstatterIn), SEMI Europe (BerichterstatterIn), SEMICON Europa (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Brussels SEMI Europe 2002
Schlagworte:	Konferenzschrift
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Beschreibung:	Getr. Zählung [ca. 100 S.]