2001 7th International Symposium on Plasma- and Process-Induced Damage June 5 - 7, 2002, Maui, Hawaii, USA

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaften:	International Symposium on Plasma and Process Induced Damage (VerfasserIn), American Vacuum Society (BerichterstatterIn), IEEE Electron Devices Society (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Hook, Terence (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Santa Clara, Calif. AVS 2002
Schlagworte:	Konferenzschrift
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