2001 7th International Symposium on Plasma- and Process-Induced Damage June 5 - 7, 2002, Maui, Hawaii, USA
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | eng |
Veröffentlicht: |
Santa Clara, Calif.
AVS
2002
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Beschreibung: | IEEE catalog number: 02TH8582; 02TH8582C |
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Beschreibung: | I, 177 S |
ISBN: | 0965157776 0-9651577-7-6 0965157784 0-9651577-8-4 |