MOVPE reactor
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | eng |
Veröffentlicht: |
Norwell, Mass.
Kluwer Acad. Publ.
2002
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Schriftenreihe: | Journal of materials science Materials in electronics
13.2002,11 |
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Beschreibung: | III S., S. 633 - 682 Ill., graph. Darst |
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