Low-energy sputterings with the Monte Carlo program ACAT
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | eng |
Veröffentlicht: |
Nagoya
Univ., Inst. of Plasma Physics
1985
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Schriftenreihe: | IPPJ-AM
40 |
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Beschreibung: | Literaturverz. S. 18 |
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Beschreibung: | 55 S Ill., graph. Darst |