Low-energy sputterings with the Monte Carlo program ACAT

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Yamamura, Yasunori (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Mizuno, Yoshiyuki (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Nagoya Univ., Inst. of Plasma Physics 1985
Schriftenreihe:IPPJ-AM 40
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Beschreibung
Beschreibung:Literaturverz. S. 18
Beschreibung:55 S
Ill., graph. Darst