Verbundprojekt Drahtsägen, Teilprojekt: Grundlegende Untersuchungen zum Mechanismus der Zerkleinerung beim Drahtsägen von Siliziumwafern Forschungsbericht 01.08.98-31.12.98

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Borst, Ch. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Möller, H. J. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Freiberg Inst. für Experimentelle Physik, TU Bergakad. ca. 1999
Schlagworte:	Forschungsbericht > Silicium > Polykristall > Drahtsäge > Werkstoffschädigung
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