Verbundprojekt Drahtsägen, Teilprojekt: Grundlegende Untersuchungen zum Mechanismus der Zerkleinerung beim Drahtsägen von Siliziumwafern Forschungsbericht 01.08.98-31.12.98
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| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | ger |
| Veröffentlicht: |
Freiberg
Inst. für Experimentelle Physik, TU Bergakad.
ca. 1999
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Tag hinzufügen | Beschreibung: | 5 Bl Ill., graph. Darst |
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