Verfahren zur Positionierung unterseitenstrukturierter Bauelemente in der Mikrosystemtechnik

Zugl.: München, Techn. Univ., Diss., 2002

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Jacob, Dirk (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: München Utz, Wiss. 2002
Schriftenreihe:Forschungsberichte / Institut für Werkzeugmaschinen und Betriebswissenschaften, Technische Universität München 167
Schlagworte:
Online Zugang:Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Zusammenfassung:Zugl.: München, Techn. Univ., Diss., 2002
Beschreibung:VI, 185 S
Ill., graph. Darst
21 cm
ISBN:3831601429
3-8316-0142-9