Lokal selektives Bonden von Silizium und Glas mit Laser

Lokal selektives Bonden von Silizium und Glas mit Laser

Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2002

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Wild, Michael J. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Wild, Michael Johann (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Aachen Shaker 2002
Schriftenreihe:Berichte aus der Lasertechnik
Schlagworte:
Hochschulschrift > Glas > Silicium > Wafer > Bonden > Laserstrahlung
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Beschreibung
Zusammenfassung:Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2002
Beschreibung:VI, 139 S
Ill., graph. Darst
21 cm
ISBN:3832203672
3-8322-0367-2