Micro- and nano-engineering 2001 proceedings of the 27th International Conference on Micro- and Nano-Engineering, September 16 - 19, 2001, Grenoble, France

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	International Conference on Micro- and Nano-Engineering (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Joubert, Olivier (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Amsterdam u.a. Elsevier 2002
Schriftenreihe:	Microelectronic engineering 61/62.2002
Schlagworte:	Konferenzschrift
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