Entwicklung eines Tiefenätzprozesses zur Strukturierung von CVD-Diamanten : Abschlußbericht des Teilvorhabens im BMBF-Verbundvorhaben "Sensorcluster für extreme Umgebungsbedingungen"

Entwicklung eines Tiefenätzprozesses zur Strukturierung von CVD-Diamanten Abschlußbericht des Teilvorhabens im BMBF-Verbundvorhaben "Sensorcluster für extreme Umgebungsbedingungen"

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Otterbach, Ralf (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Hilleringmann, Ulrich (VerfasserIn), Goser, Karl (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Dortmund Lehrstuhl Bauelemente d. Elektrotechnik, Univ. 2000
Schlagworte:
Forschungsbericht > Mikrosensor > Piezoelektrischer Drucksensor > Diamant > Dünne Schicht > Substrat > Ätzen
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Beschreibung
Beschreibung:Förderkennzeichen BMBF 16 SV 547. - Literaturverz. S. 9
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
Auch als elektronische Ressource vorh
Beschreibung:44 S
Ill., graph. Darst