Herstellung und Charakterisierung von schmalbandigen EUV-Multischichtenspiegeln für Anwendungen mit fs-HHG-Strahlung

Bielefeld, Univ., Diss., 2001 (Nicht für den Austausch)

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Lim, Yong Cheol (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	2001
Schlagworte:	Hochschulschrift > Molybdän > Silicium > Mehrschichtsystem > Spiegel > Extremes Ultraviolett
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

Beschreibung
Zusammenfassung:	Bielefeld, Univ., Diss., 2001 (Nicht für den Austausch)
Beschreibung:	101 S. Ill., graph. Darst. 30 cm