Verbundprojekt MOSEP Schlußbericht zum Teilvorhaben 16SV731/2 [Untersuchungen zum Aufbau mikrooptischer Sensorsysteme]
Interferometer, length measurements, HeNe-laser
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | ger |
Veröffentlicht: |
Ilmenau
SIOS Meßtechnik GmbH
2001
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Zusammenfassung: | Interferometer, length measurements, HeNe-laser |
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Beschreibung: | Engl. Zsfass. u.d.T.: Microoptical sensors for engineering. - Verbund-Nr. 01008507 Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden Auch als elektronische Ressource vorh |
Beschreibung: | 23 Bl Ill., graph. Darst |