Unterstützung des Entwurfsprozesses in der Mikromechanik durch Einsatz eines modularen Baukastensystems am Beispiel mikromechanischer Membranen

Unterstützung des Entwurfsprozesses in der Mikromechanik durch Einsatz eines modularen Baukastensystems am Beispiel mikromechanischer Membranen

Zugl.: Essen, Univ., Diss., 2002

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Weiss, Elmar (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Aachen Shaker 2002
Schriftenreihe:Berichte aus der Mikromechanik
Schlagworte:
Hochschulschrift > Mikromechanik > Drucksensor > Technische Membran > Produktentwicklung > Modul
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