Unterstützung des Entwurfsprozesses in der Mikromechanik durch Einsatz eines modularen Baukastensystems am Beispiel mikromechanischer Membranen

Zugl.: Essen, Univ., Diss., 2002

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Weiss, Elmar (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Aachen Shaker 2002
Schriftenreihe:	Berichte aus der Mikromechanik
Schlagworte:	Hochschulschrift > Mikromechanik > Drucksensor > Technische Membran > Produktentwicklung > Modul
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