Physikalische Vorgänge in gepulsten Magnetronentladungen

Magdeburg, Univ., Diss., 2001

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Schulze, Matthias (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: 2001
Schlagworte:
Hochschulschrift > CD-ROM > Magnetronsputtern > Titan > Titandioxid > Glimmentladung > Plasmadiagnostik > Emissionsspektroskopie
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Beschreibung
Zusammenfassung:Magdeburg, Univ., Diss., 2001
Beschreibung:1 CD-ROM
CD-R
12 cm