Das Verhalten der elektrischen Parameter beim bipolaren Puls-Magnetron-Sputtern am Beispiel von Zinn- und Zinkoxid

Magdeburg, Univ., Diss., 2001

Bibliographische Detailangaben

Weitere Verfasser:	Krause, Uwe (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	2002
Ausgabe:	[Elektronische Ressource]
Schlagworte:	Hochschulschrift > CD-ROM
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