2nd AVS International Conference on Microelectronics and Interfaces [5 - 9 Feb. 2001, Santa Clara, California, US]

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	International Conference on Microelectronics and Interfaces (3 : 2002 : Santa Clara, Calif.) 2000 - 2002 proceedings
Körperschaften:	International Conference on Microelectronics and Interfaces (VerfasserIn), American Vacuum Society (BerichterstatterIn)
Pages:	2000 - 2002
Format:	UnknownFormat
Veröffentlicht:	2002
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