Device and process technologies for MEMS and microelectronics II [part of the SPIE's 2001 Symposium on Microelectronics and MEMS] ; 17 - 19 December 2001, Adelaide, Australia

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	Symposium on Microelectronics and MEMS (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Chiao, Jung-Chih (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Bellingham, Wash. SPIE 2001
Schriftenreihe:	SPIE proceedings series 4592
Schlagworte:	Konferenzschrift
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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