Electronics and structures for MEMS II : [part of the SPIE's 2001 Symposium on Microelectronics and MEMS] ; 17 - 19 December 2001, Adelaide, Australia

Electronics and structures for MEMS II [part of the SPIE's 2001 Symposium on Microelectronics and MEMS] ; 17 - 19 December 2001, Adelaide, Australia

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaften: Society of Photo-optical Instrumentation Engineers (BerichterstatterIn), Symposium on Microelectronics and MEMS (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Bergmann, Neil W. (HerausgeberIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Bellingham, Wash. SPIE 2001
Schriftenreihe:SPIE proceedings series 4591
Schlagworte:
Microelectromechanical systems > Congresses > Smart structures > Microelectronics > Konferenzschrift
Online Zugang:Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Beschreibung:Includes bibliographical references and author index
Beschreibung:IX, 392 S.
Ill., graf. Darst.
28 cm
ISBN:0819443212
0-8194-4321-2