Naučnye osnovy razrabotki technologij i oborudovanija mikroėlektroniki mežvuzovskij sbornik

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	Moskovskij Gosudarstvennyj Institut Ėlektronnoj Techniki (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Gusev, V. V. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	rus
Veröffentlicht:	Moskva MIĖT 2000
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