Silicon nitride and silicon dioxide thin insulating film : proceedings of the fifth international symposium, [held on March 25 - 30, 2001 in Washington, DC]

Silicon nitride and silicon dioxide thin insulating film proceedings of the fifth international symposium, [held on March 25 - 30, 2001 in Washington, DC]

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaften: Electrochemical Society Dielectric Science and Technology Division (BerichterstatterIn), Electrochemical Society Electronics Division (BerichterstatterIn), Electrochemical Society High Temperature Materials Division (BerichterstatterIn), Symposium on Silicon Nitride and Silicon Dioxide Thin Insulating Films (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Sundaram, K. B. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Pennington, NJ Electrochemical Society 2001
Schriftenreihe:Proceedings volume / Electrochemical Society 2001-7
Schlagworte:
Thin film devices > Congresses > Silicon nitride > Silicon dioxide > Konferenzschrift
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Beschreibung
Beschreibung:X, 286 S
ISBN:156677313X
1-56677-313-X