Abscheidung dünner Schichten aus kubischem Bornitrid (cBN) auf Silicium und Werkzeugstahl mit der ionengestützten Abscheidung aus der Gasphase (IBAD)

Abscheidung dünner Schichten aus kubischem Bornitrid (cBN) auf Silicium und Werkzeugstahl mit der ionengestützten Abscheidung aus der Gasphase (IBAD)

Zugl.: Bremen, Univ., Diss., 2001

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Döring, Jens-Erich (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Aachen Shaker 2002
Schriftenreihe:Forschungsberichte aus der Stiftung Institut für Werkstofftechnik, Bremen 10
Schlagworte:
Hochschulschrift > Werkzeugstahl > Beschichtung > CBN > PVD-Verfahren > Ionenimplantation > Adhäsion
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