Abscheidung dünner Schichten aus kubischem Bornitrid (cBN) auf Silicium und Werkzeugstahl mit der ionengestützten Abscheidung aus der Gasphase (IBAD)

Zugl.: Bremen, Univ., Diss., 2001

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Döring, Jens-Erich (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Aachen Shaker 2002
Schriftenreihe:	Forschungsberichte aus der Stiftung Institut für Werkstofftechnik, Bremen 10
Schlagworte:	Hochschulschrift > Werkzeugstahl > Beschichtung > CBN > PVD-Verfahren > Ionenimplantation > Adhäsion
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